局部排氣裝置是工業衛生中經常使用於空氣有害物逸散的控制方式，截至目前為止，雖然局部排氣裝置理論上被認為可以被用於控制奈米微粒的逸散，但是並沒有實際測試的數據，研究的目的即在實際測試局部排氣裝置對於奈米微粒的捕集效率。研究中，利用噴霧乾燥的方式產生粒徑4～100 nm的測試微粒，並利用EEPS量測微粒之數目濃度與粒徑分佈資料來評估局部排氣裝置對於不同粒徑之奈米微粒的捕集效率，對化學氣櫃與吹吸式氣罩等兩種常見的局部排氣系統進行測試，驗證此兩種系統是否可以有效的用來控制奈米微粒，作為奈米微粒控制的參考依據。在所建立的測試艙，測試結果顯示一般的操作條件下局部排氣系統對於奈米粒徑微粒的捕集效率並不受粒徑大小的影響，對於化學氣櫃與吹吸式氣罩，在適當操作條件下，都可獲得很好之奈米微粒捕集效果。由研究結果來看，適當之局部排氣系統可有效捕集奈米微粒，若事業單位有奈米微粒逸散之情形，可採取局部排氣來控制，避免作業人員之暴露。